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一种大批量的真空镀膜基片清洗装置，包括超声波清洗箱、升降驱动装置和基片清洗夹具；基片清洗夹具包括清洗上板、清洗中板和清洗下板，所述清洗上板、清洗中板和清洗下板按照由上至下的顺序依次设置，清洗中板的每个“田”字格区域内均设有一组清洗槽，一组清...
该专利属于镇江晶鼎光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过镇江晶鼎光电科技有限公司授权不得商用。

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