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本实用新型公开了一种新型的用于光刻涂胶的胶杯，涉及半导体技术领域，包括外罩、内罩、以及用于固定外罩、内罩的底座；外罩、内罩和底座中部共同形成一涂胶空间；外罩的外罩壁与内罩的内罩壁之间形成一隔层空间，底座内部开设有一液流通道，涂胶空间产生的胶...
该专利属于宁波润华全芯微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波润华全芯微电子设备有限公司授权不得商用。

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