下载用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法的技术资料

文档序号:28144925

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本发明公开了一种用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法,该方法包括如下步骤:获取晶圆的MAP图;从MAP图的设定坐标区域获取其最外围N圈内的坐标点的所有BIN项;计算所有BIN项中含有的失败BIN项的比例;判断所有BIN项中含有的失败BIN项的...
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