温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种平板探测器的制备方法,在栅绝缘层中形成源电极互连孔和光电二极管通孔后,采用一层或叠层的金属隔离层,以隔离AOS TFT,可避免后续在制备PD成膜过程中,对AOS TFT中的非晶氧化物有源层造成损伤,避免非晶氧化物有源层的性能劣...该专利属于上海奕瑞光电子科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海奕瑞光电子科技股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种平板探测器的制备方法,在栅绝缘层中形成源电极互连孔和光电二极管通孔后,采用一层或叠层的金属隔离层,以隔离AOS TFT,可避免后续在制备PD成膜过程中,对AOS TFT中的非晶氧化物有源层造成损伤,避免非晶氧化物有源层的性能劣...