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本发明提供了一种减少芯片电子辐射损伤的方法和受电子辐射损伤较小的芯片，属于电镜表征技术领域。本发明在芯片的表面镀覆单分子有机薄膜，由于厚度很薄，能够不影响显微仪器观察芯片内部结构；本发明的有机薄膜绝缘，因此能够减少电子束损伤。此外，本发明的...
该专利属于华东师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过华东师范大学授权不得商用。

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