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本发明公开了一种由苦参碱合成的磺酸锍盐类光产酸剂，涉及光刻胶领域，尤其涉及光产酸剂，一种由苦参碱合成的磺酸锍盐类光产酸剂，结构式为：R为氟取代的烷基。光产酸剂呈弱碱性，能够有效降低酸的扩散，有利于改善光刻图形的边缘粗糙度，提高图形分辨率；亲...
该专利属于上海博栋化学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海博栋化学科技有限公司授权不得商用。

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