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本发明涉及一种防止激光化学气相沉积中沉积气体结晶化的装置和方法，所述装置包括沉积气体储存容器、反应腔体以及连接两者用于输送沉积气体的管路，沿所述沉积气体的流动方向，所述管路包括至少两个温度流失区域；对应所述温度流失区域，所述装置还设置温度保...
该专利属于苏州科韵激光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州科韵激光科技有限公司授权不得商用。

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