下载一种低钳位电压ESD防护结构及其制备方法的技术资料

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本发明涉及一种低钳位电压ESD防护结构及其制备方法。本发明包括P型衬底、N型外延层、PWELL区、第一N+接触区、N+齐纳接触区、第一P+接触区和第二N+接触区,P型衬底上方为N型外延层,PWELL区和第二N+接触区位于N型外延层内部上方,...
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