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本申请公开一种石墨烯薄膜及其制备方法、以及薄膜晶体管阵列。其中，所述石墨烯薄膜的制备方法包括以下步骤：制备填充有金属催化剂的分级多孔二氧化硅薄膜；采用原子层沉积法在所述分级多孔二氧化硅薄膜表面沉积石墨烯；以及去除所述分级多孔二氧化硅薄膜后，...
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