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本发明的一个方面涉及一种基于以多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷为特性的每个样本的图像来分析至少两个样本之间的所述多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷的方法，包括：针对每个样本，创建至少一个小型地图的步骤(E1)，该小型地图包括多个仓...
该专利属于法国原子能及替代能源委员会所有，仅供学习研究参考，未经过法国原子能及替代能源委员会授权不得商用。

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