【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】至少两个样本之间的多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷的分析
[0001]本专利技术的
是设备的部件例如光伏电池中的缺陷的分析的领域。本专利技术涉及一种至少两个样本之间的多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷的分析方法。本专利技术还涉及一种允许实施该方法的设备。
技术介绍
[0002]在零件或设备的批量生产期间，重要的是能够分析所述零件或所述设备的缺陷，并比较在生产线上采集或在生产过程中测量的不同样本之间的缺陷的位置和类型。例如，在光伏电池的情况下，许多因素可能会影响电池表面的均质性：对半导体晶片的操纵所留下的污染物，制造方法中的不均匀性等。例如，在其制造过程中，光伏电池受到操纵，这可能导致电池表面的退化，从而引起性能劣化。这种劣化尤其可以使用光致发光或电致发光图像来识别。
[0003]专利申请WO2015/091895提出了一种方法，其中提出了这种特征。为此，第一步骤包括获取待检查样本的光致发光图像。该图像然后经历清洁步骤，在此期间去除金属图案，然后经历分割步骤。在分割步骤的末尾，创建了两个图像：第一图像包...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.基于以多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷为特性的每个样本(EC)的图像(IM)来分析至少两个样本(EC)之间的所述多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷的方法，包括：
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针对每个样本(EC)，创建至少一个被称为小型地图(MC)的矩阵的步骤(E1)，该小型地图(MC)包括多个仓并表示所述多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷，并且其分辨率小于所述样本(EC)的所述图像(IM)，所述小型地图(MC)的每个仓与所述样本(EC)的所述图像(IM)的多个像素相关联，并且具有取决于所述像素并表示至少一种类型的缺陷的数量的分数；
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确定表示所述多种类型的缺陷之中的一种或多种相同类型的缺陷的每个小型地图(MC)之间的距离的步骤(E2)，通过考虑以下变换来将两个小型地图(MC)之间的距离定义为两个小型地图(MC)之间的最小距离：旋转和/或对称，以使得两个小型地图(MC)之间的每个距离都与变换相关联；通过考虑与表示所述多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷的每个小型地图(MC)之间的距离相关联的变换，来执行对至少两个样本(EC)之间的所述多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷的分析。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，创建小型地图的步骤(E1)包括：
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创建网格(GR)的第一子步骤(E11)，所述网格(GR)具有N x N个方格的分辨率，其中N x N是要被确定的小型地图(MC)的分辨率，所述网格(GR)的中心被对准在所述图像(IM)的中心上，并且所述网格(GR)完全覆盖所述图像(IM)；
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针对所述网格(GR)的每个方格计算分数的子步骤(E12)，该分数取决于由所述方格覆盖的所述图像(IM)的像素，所述网格(GR)的每个方格的分数被归因于对应的小型地图(MC)的仓。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，创建小型地图的步骤(E1)包括：
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创建第一中间网格(GR1)的第一子步骤(E11')，所述第一中间网格(GR1)具有N x N个方格的分辨率，其中N x N是所述小型地图(MC)的分辨率，所述第一中间网格(GR1)的中心被对准在所述图像(IM)的中心上，并且所述第一中间网格(GR1)完全覆盖所述图像(IM)；
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创建第二中间网格(GR2)的第二子步骤(E12')，所述第二中间网格(GR2)具有(N
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1)x(N
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1)个方格的分辨率，所述第二中间网格(GR2)的方格的...
【专利技术属性】
技术研发人员：帕特里克杰里米，
申请(专利权)人：法国原子能及替代能源委员会，
类型：发明
国别省市：
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