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半导体薄膜结构以及包括其的电子器件制造技术
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文档序号:28135910
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一种半导体薄膜结构以及包括其的电子器件,该半导体薄膜结构可以包括衬底、在衬底上的缓冲层以及在缓冲层上的半导体层,使得缓冲层在半导体层和衬底之间。缓冲层可以包括多个单元层。所述多个单元层中的每个单元层可以包括具有第一带隙能量和第一厚度的第一层...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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