下载流体模块的技术资料

文档序号:28120700

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本发明的目的在于提供一种当从主盘卸下工具盘时不易发生冷却水的漏出且可小型化的流体模块。本发明的流体模块中,主侧单元包括:纵流路,在其下表面侧开口;横流路,在其侧面侧开口,与纵流路连通;芯棒,前端从纵流路的开口突出;可动构件,以可沿着纵流路的...
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