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晶圆支撑结构。根据本公开的一方面的晶圆支撑结构包括：支撑体；第一应变层，其设置在支撑体的上部上并具有第一热膨胀率；以及第二应变层，其设置在支撑体的下部上并且具有与第一热膨胀率不同的第二热膨胀率。第一应变层和第二应变层中的一个被配置为在其上接...
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