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光掩模固持系统技术方案
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文档序号:28118912
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一种光掩模固持系统包括一内盒及一外盒。内盒包含一内基座、一内盖、及一压销。所述内基座组配来接收一工件。内盖组配来耦合所述内基座,从而形成一用以收容所述工件的内部。压销可移动地穿设于所述内盖,且组配来按压所接收的工件。外盒包含一外基座、一外盖...
该专利属于家登精密工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过家登精密工业股份有限公司授权不得商用。
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