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晶片加工用立式舟。提供了一种结构简单,提高使用可靠性和适应性的晶片加工用立式舟。包括瓦片状舟体和支撑组件,所述支撑组件包括一对对称设置的舟头和一对平行设置的支撑棒,一对支撑棒连接在一对舟头之间,所述舟体连接在一对支撑棒上、且位于一对舟头之间...
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