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本实用新型提供一种多层MEMS结构，该MEMS结构包括自下而上依次堆叠于衬底上的至少两层光敏干膜，所述光敏干膜中设有空腔。本实用新型使用至少两层光敏干膜实现多层MEMS结构，各层结构更为平整，曝光更加均匀，可以减小结构误差，从而提高多层ME...
该专利属于上海新微技术研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新微技术研发中心有限公司授权不得商用。

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