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本实用新型公开了一种适用硅晶圆涂胶清洗的旋转主轴，包括固定座以及位于所述固定座内的主轴本体；所述固定座包括上固定座与下固定座，所述上固定座内设置有上层轴承与上层油封，所述下固定座内设置有下层轴承与下层油封，所述主轴本体贯穿所述上固定座与所述...
该专利属于苏州汉立光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州汉立光电科技有限公司授权不得商用。

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