下载一种单晶硅生产加工拉晶炉的冷却装置的技术资料

文档序号:28096250

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本实用新型公开了一种单晶硅生产加工拉晶炉的冷却装置,包括底座、籽晶和冷却装置,本实用新型通过在炉体内部上端设置了冷却装置,依次将进水管和出水管与外部水冷设备连接,然后在将进气管和出气管与外部惰性气体设备连接,然后在外部水冷设备与外部惰性气体...
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