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本实用新型公开了一种单晶硅生产加工拉晶炉的冷却装置,包括底座、籽晶和冷却装置,本实用新型通过在炉体内部上端设置了冷却装置,依次将进水管和出水管与外部水冷设备连接,然后在将进气管和出气管与外部惰性气体设备连接,然后在外部水冷设备与外部惰性气体...该专利属于内蒙古豪安能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古豪安能源科技有限公司授权不得商用。
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