下载一种长外延片的反应室结构的技术资料

文档序号:28089746

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本实用新型涉及一种生长外延片的反应室结构,属于外延片技术领域,一种生长外延片的反应室结构,包括生长室和恒温机构,生长室外层包有保温室,恒温机构位于保温室外表面的一侧,恒温机构包括保温水箱,保温水箱的侧壁内侧设置有加热层,保温水箱的一侧设置有...
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