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本实用新型公开了一种新型氮氧化物传感器芯片空腔装置，在底基片的上端两侧分别固定连接侧板，并在侧板内侧的底基片上端分别依次设置第一狭缝胶片、空腔层、第二狭缝胶片和顶基片，第一狭缝胶片和第二狭缝胶片以及空腔层的第一空腔体和第二空腔体均为热挥发性...
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