下载吸附结构及芯片检测设备的技术资料

文档序号:28086965

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本实用新型公开了一种吸附结构及芯片检测设备,该吸附结构包括:固定部,内部中空且内侧设置有环形的气流通道,所述气流通道与外部真空装置连通;旋转轴,内部中空且可转动地设置于所述固定部内部,所述旋转轴的侧壁沿环向开设有若干通气孔,所述旋转轴的内部...
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