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本实用新型涉及一种具有加热功能的履带刻蚀腔。具体说，是用来除去履带上二氧化硅薄膜的具有加热功能的履带刻蚀腔。其含有腔体。所述腔体由平板和平板一面四周的腔壁而构成，所述平板上均布有喷气孔。所述腔壁的内侧面上有周向台阶，周向台阶之外依次有内封板...
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