下载一种多用途半导体加工处理设备的技术资料

文档序号:28081292

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本实用新型公开了一种多用途半导体加工处理设备,包括加工处理设备,加工处理设备上安装有吸真空泵,吸真空泵的入口端连接有过滤装置,过滤装置包括相互配合的第一罐体和第二罐体,第一罐体和第二罐体的底端均设有开口,第一罐体和第二罐体的底端均螺纹连接有...
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