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本实用新型公开了一种真空六自由度运动平台,包括运动台本体,所述运动台本体的上端固定连接有过渡转接板,所述过渡转接板的内部设有多个真空航插,所述过渡转接板的下端设有用于固定的法兰,所述运动台本体的内部于过渡转接板的下方设有X轴平移台,所述X轴...该专利属于上海联谊光纤激光器械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海联谊光纤激光器械有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种真空六自由度运动平台,包括运动台本体,所述运动台本体的上端固定连接有过渡转接板,所述过渡转接板的内部设有多个真空航插,所述过渡转接板的下端设有用于固定的法兰,所述运动台本体的内部于过渡转接板的下方设有X轴平移台,所述X轴...