【技术实现步骤摘要】
一种真空六自由度运动平台
[0001]本技术涉及运动平台
，尤其涉及一种真空六自由度运动平台。
技术介绍
[0002]任何一个没有受约束的物体，在空间均具有六个独立的运动，即沿x、y、z 三个直角坐标轴方向的移动自由度和绕这三个坐标轴的转动自由度，因此，要完全确定物体的位置，就必须清楚这六个自由度。现有的真空六自由度运动平台在工作时存在着误差较大的情况，进而影响运动平台的正常工作。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空六自由度运动平台。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种真空六自由度运动平台，包括运动台本体，所述运动台本体的上端固定连接有过渡转接板，所述过渡转接板的内部设有多个真空航插，所述过渡转接板的下端设有用于固定的法兰，所述运动台本体的内部于过渡转接板的下方设有X 轴平移台，所述X轴平移台的下方设有Y轴平移台，所述Y轴平移台的下方设有连接杆。
[0006]优选地，所述过渡转接板的上端于多个...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空六自由度运动平台，包括运动台本体(1)，其特征在于，所述运动台本体(1)的上端固定连接有过渡转接板(2)，所述过渡转接板(2)的内部设有多个真空航插(12)，所述过渡转接板(2)的下端设有用于固定的法兰(3)，所述运动台本体(1)的内部于过渡转接板(2)的下方设有X轴平移台(4)，所述X轴平移台(4)的下方设有Y轴平移台(5)，所述Y轴平移台(5)的下方设有连接杆(13)。2.根据权利要求1所述的一种真空六自由度运动平台，其特征在于，所述过渡转接板(2)的上端于多个真空航插(12)的内部均设有用于悬挂整个装置的挂环(11)。3.根据权利要求1所述的一种真空六自由度运动平台，其特征在于，所述连接杆(13)的前端设有Z轴升降台(6)，所述Z轴升降台(6)的下方设有Y轴弧摆台(7)，所述Y轴弧摆台(7)的下方设有X轴弧摆台(8)，所述X轴弧摆台(8)的下方设有Z轴旋转台(9)，所述Z轴旋转台(9)的下方设有摆心(10)。4.根据权利要求3所述的一种真空六自由度运动平台，其特征在于，所述运动台本体(1)的适用环境为10-3
帕斯卡真空环境，所述运动台本体(1)通过多个挂环(11)倒挂于靶室顶部，所述运动台本体(1)的承重为500克，所述运动台本体(1)的内部设有航插、盲板、电机线及六个设置于运动轴前端的电机，六个所述电机的型号均为进...
【专利技术属性】
技术研发人员：瞿新龙，卫裕，瞿兴华，周正平，
申请(专利权)人：上海联谊光纤激光器械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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