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本实用新型提供一种立式自动上下晶圆装置，其包括：上料机构、XY机构、翻转机构；上料机构包括：平台以及升降结构，平台由升降结构带动进行升降；XY机构驱动翻转机构于上料机构的一侧进行平移运动，其包括：第一底座、供第一底座沿X方向滑动的第一导轨、...
该专利属于苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司授权不得商用。

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