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本实用新型公开了一种侦测Centura ACP机台传送晶圆完整性的装置，包括激光发射器、激光接收器以及与激光发射器和激光接收器连接的电源，激光发射器和激光接收器中的一个安装在所述机台的晶圆承载腔室顶部，激光发射器和激光接收器中的另一个安装在...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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