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本实用新型涉及一种检测设备及检测系统，其中，检测设备包括检测部和设于检测部内的检测腔室，检测腔室内包括用于对待测对象进行光学检测的光学元件；检测部内填充有第一气体，检测腔室内填充有第二气体，第一气体的清洁度等于或低于第二气体的清洁度。通过以...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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