温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型一种双面抛光中用于放置晶圆片的放置机构，置于抛光设备的下抛盘内侧，其特征在于，包括设有内齿轮的外圈盘和若干设有外齿轮的内圈盘，其中，所述外圈盘和所述内圈盘相互独立设置且所述内圈盘沿所述外圈盘圆周均匀设置；相邻所述内圈盘相互啮合；所...
该专利属于天津中环领先材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津中环领先材料技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。