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本实用新型提供了一种多轨道硅片缓存机构，所述的机构包括硅片储存装置、用于驱动所述的硅片储存装置上下移动的驱动组件，所述的硅片储存装置包括安装框架、多个沿左右方向排列设置在安装框架上的硅片安装架。此机构可人工调整各缓存侧板之间的间距来缓存硅片...
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