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本实用新型涉及一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括：相互连接的波导装置和反应腔，其中，波导装置包括微波天线，微波天线包括进气管、水冷结构、天线下盘和分气盘，其中，水冷结构套设在进气管的外部；分气盘设置在天线下盘的下端；进气管的下端穿过天线...
该专利属于西安电子科技大学芜湖研究院所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学芜湖研究院授权不得商用。

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