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本实用新型涉及一种晶圆片吸盘机构及晶圆片吸附机械手，包括吸盘罩、吸盘外板、吸盘内板及密封圈，所述吸盘外板套设在吸盘罩底端，吸盘外板与吸盘罩固定连接，吸盘外板底端均匀开设有气孔及气道，所密封圈嵌入吸盘外板底端外缘，所述吸盘内板固定在吸盘罩内，...
该专利属于江苏科沛达半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏科沛达半导体科技有限公司授权不得商用。

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