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本实用新型涉及一种晶圆片柔性定位平台，包括平台座、柔性模块、平台端板及气路，所述柔性模块固定在平台座顶端，所述平台端板固定在柔性模块顶端，平台端板上开设有通道，所述气路与通道连通。该晶圆片柔性定位平台通过平台座、柔性模块、平台端板及气路的相...
该专利属于江苏科沛达半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏科沛达半导体科技有限公司授权不得商用。

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