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一种可无污染加热及准确控制工件温度的离子镀设备，加热系统置有弧光电子源，它包括柱状阴极电弧阴极，其前面设有一电弧前挡板，板侧旁开有长条形侧缝开口；于挡板外上述开口附近置有辅助阳极吸拉上述等离子体中的电子流到镀膜空间，以增加辉光等离子体对工件...
该专利属于东莞市汇成真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市汇成真空科技有限公司授权不得商用。

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