下载一种用于晶片衬底片的金刚石研磨液的技术资料

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一种用于晶片衬底片的金刚石研磨液,其属于精细化工技术领域。该研磨液中醇醚有机溶剂的加入,使该研磨液的表面张力降低,增加了润湿渗透能力。多功能金属离子捕捉剂的分子结构中含有酰胺官能团,酰胺键与一个氧原子相连。金属离子捕捉剂与有机溶剂的协同作用...
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