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本发明提供一种氮化镓异质结二极管制备方法及二极管，其制备方法包括以下步骤：制备一二氧化硅
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该专利属于深圳市美浦森半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市美浦森半导体有限公司授权不得商用。

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