下载一种低压快恢复二极管的制备方法及二极管的技术资料

文档序号:28058259

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本发明提供一种低压快恢复二极管的制备方法及二极管,所述制备方法包括以下步骤:制备一N型半导体衬底,在衬底上形成一N型外延层;在所述N型外延层上场氧形成一热氧化层;通过N+截止环掩模版曝光刻蚀露出N+open离子注入窗口区;在所述N+open...
该专利属于深圳市美浦森半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市美浦森半导体有限公司授权不得商用。

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