下载一进口过渡真空腔体和磁控溅射镀膜生产线的技术资料

文档序号:28056680

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本发明提供一种进口过渡真空腔体和磁控溅射镀膜生产线,包括:底座,所述底座与壳体焊接固定,所述壳体一侧开设有若干玻璃插片架通道,所述玻璃插片架通道内螺栓固定安装有玻璃插片架,所述进架通道和出架通道分别与镀膜舱和转运舱开设的相应通道相连通;转运...
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