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本发明提供一种用于制造金属电极的制造方法，包括：在压电材料衬底上形成第一光刻胶层；形成第一图形；基于所述第一图形，对所述压电材料衬底进行蚀刻，以形成填埋沟；去除所述第一光刻胶层；在所述压电材料衬底上沉积金属材料以形成电极金属层；使得所述压电...
该专利属于广东广纳芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东广纳芯科技有限公司授权不得商用。

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