下载一种选通管材料、选通管单元及其制备方法的技术资料

文档序号:28055458

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本发明公开了一种选通管材料、选通管单元及其制备方法,属于微纳米电子技术领域。所述选通管材料为包括Si及M的化合物,其中,M为S或者Se,所述选通管材料的化学通式为SixMy,其中,x、y为元素的原子百分比,且16.67≤x≤50、50≤y≤...
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