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本发明公开了一种基于纳米粒子修饰的金刚石薄膜及其制备方法。所述纳米粒子修饰的金刚石薄膜以硅基材料、金属材料或者复合材料为基底，在基底上表面溅射金属Ni作为过渡层；在过渡层表面通过化学气相沉积法，合理优化氢气、氩气和甲烷气体的流量、气体压强、...
该专利属于上海征世科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海征世科技有限公司授权不得商用。

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