下载用于垂直场效应晶体管的对称二维鳍结构和制造其的方法的技术资料

文档序号:28052423

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本发明构思提供了一种制造垂直场效应晶体管(VFET)的鳍结构的方法和通过该方法制造的鳍结构。所述方法包括:(a)图案化下层和沉积在下层上的上层,以形成分别在彼此垂直的两个方向上延伸的两个图案;(b)沿着下层和上层的通过图案化暴露的侧壁在所述...
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