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本发明公开了一种自动定位式传感器单晶硅刻蚀装置，包括反应室本体，所述反应室本体内设置有片架，所述反应室本体上固定安装有片架旋转机构，所述片架旋转机构的动力输出轴与片架固定连接，所述片架的轴线、片架旋转机构的动力输出轴的轴线与反应室本体的轴线...
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