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用于对准透光双折射工件的系统和方法技术方案
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文档序号:28051309
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一种工件对准系统,具有光发射装置,通过第一偏光装置将光束引导至工件的第一侧。被定位在该工件第二侧的光接收装置通过该工件与该光接收装置之间的第二偏光装置接收该光束。工件支撑架支撑该工件。旋转设备绕着支撑轴选择性支撑与旋转该工件支撑架。控制器基...
该专利属于艾克塞利斯科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过艾克塞利斯科技公司授权不得商用。
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