下载单晶硅的碳浓度测定方法及装置的技术资料

文档序号:28051173

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本发明的课题在于即使在单晶硅中的碳浓度非常低的情况下也准确地测定该碳浓度。根据本发明的单晶硅的碳浓度测定方法具备:通过FT
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