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磁性隧道结的种子层形成方法技术
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文档序号:28049857
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本申请提供一种磁性隧道结的种子层形成方法,所述磁性隧道结结构的种子层通过多次的沉积或表面离子处理而形成,此方式所形成的种子层可引导所述反铁磁层在生成时形成面心立方结构,有利于磁性隧道结单元在磁学,电学和良率的提升以及器件的缩微化。良率的提升...
该专利属于上海磁宇信息科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海磁宇信息科技有限公司授权不得商用。
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