下载磁性隧道结的种子层形成方法的技术资料

文档序号:28049857

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本申请提供一种磁性隧道结的种子层形成方法,所述磁性隧道结结构的种子层通过多次的沉积或表面离子处理而形成,此方式所形成的种子层可引导所述反铁磁层在生成时形成面心立方结构,有利于磁性隧道结单元在磁学,电学和良率的提升以及器件的缩微化。良率的提升...
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