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复合基板、压电元件以及复合基板的制造方法技术
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文档序号:28049107
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本公开的复合基板是压电基板与蓝宝石基板被直接接合的复合基板,在所述蓝宝石基板的接合面具有台阶群构造。本公开的压电元件具备所述复合基板。本公开的复合基板的制造方法具备:准备工序,准备压电基板、以及具备相对于特定的结晶面而具有规定的偏离角的表面...
该专利属于京瓷株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过京瓷株式会社授权不得商用。
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