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文档序号:28048943

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一种制造相关电子材料器件的方法,该方法包括形成导电衬底并在导电衬底上形成相关电子材料层,其中,形成相关电子材料层包括:形成富含金属的过渡金属化合物层或其他金属化合物层;以及在包含气态前驱体的气氛中对富含金属的过渡金属化合物层或其他金属化合物...
该专利属于切尔费实验室公司所有,仅供学习研究参考,未经过切尔费实验室公司授权不得商用。

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