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一种产生和处理均匀的高密度等离子体片(24)的方法。该方法包括使用等离子体源(3)在腔室(2)内产生等离子体，并在同一腔室内使用磁场和/或静电场容纳和成形等离子体。等离子体在腔室内以均匀的高密度片传播。...
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